三星研发智能传感器系统 可提升半导体产能和良率

芯物联12 月 26 日消息，据韩媒报道，全球科技巨头三星电子公司正在积极研发一种名为 " 智能传感器系统 " 的新型技术，旨在对半导体生产过程进行更精准的控制和管理。

据了解，提升半导体良率的一个关键环节就是在生产过程中对等离子体的均匀性和密度进行精确控制。而三星电子正在研发的 " 智能传感器系统 " 正是用于测量晶圆等离子的均匀性，以及对蚀刻、沉积和清洗等工艺性能进行准确测量和管理。这一新型技术的应用有望大幅提升半导体的良率和产能。

目前，三星电子的晶圆智能传感器大部分是从美国等国外厂商采购的，这一过程耗资数千万韩元。然而，随着对提高产量需求的持续增长，三星电子被迫转向自主研发，以降低对外国传感器的依赖程度。

据了解，三星电子正在开发的智能传感器体积超小，不会对现有设备空间产生重大影响，这意味着在提高空间利用率的同时，也能提升产能。

三星电子还计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围，其目标不仅仅局限于等离子体，而是致力于开发能够应用于各种半导体工艺的 SMART 传感器和系统。这一举措将为半导体产业的发展注入新的活力，也展现了三星电子在科技创新方面的决心和实力。

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