DUV多重曝光能否替代EUV？三次曝光追平一次EUV的技术账

据报道，在EUV光刻机受限的背景下，中国芯片制造商正将DUV多重曝光技术的潜力压榨到极限。最新拆解数据显示，中国厂商在不使用EUV的情况下，已经实现了5nm级工艺的量产，DUV光刻机正在这场突围中扮演核心角色。