探微科技OCT晶圆检测设备明鉴系列发布，实现无损三维量测

山东探微科技有限公司成立四年多，将光学相干断层成像（OCT）技术从眼科检测延伸至半导体量测领域。该公司推出的明鉴系列晶圆多维质量检测设备，旨在打破国外设备长期把持的半导体量测环节。明鉴系列目前包括明鉴……