米莱芯程高安：以i-line光刻机起步，逐级推进KrF、ArF、ArFi研发

在全球半导体制造体系中，i-line与KrF光刻机始终是成熟制程的核心支撑，广泛渗透于汽车电子、工业控制、功率器件、MEMS传感器等产业赛道。行业数据显示，2024年全球i-line与KrF光刻机出货……