万分级高精度MEMS谐振式压力传感器转化应用取得新进展

中国航天科技集团有限公司九院704所完成了万分级高精度MEMS谐振式压力传感器研制，为新一代装备和先进工业领域实现自主可控和升级换代提供核心关键产品。“高精度MEMS谐振式压力传感器涉及电子、机械、材料、热学、力学、化学等多学科的复杂交互融合，涵盖基础理论、设计、工艺制程、封装测试、设备装备等多个产业链环节”。704所相关项目负责人介绍。