命门
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重要性不输光刻机,被日本拿捏的芯片命门,我国正突出重围
我国芯片产业刚刚迎来一项关键突破——首个极紫外(EUV)光刻胶测试标准正式进入立项公示阶段。 10 月 23 日,国家标准化管理委员会公示了三项光刻胶相关标准,其中最受瞩目的是《极紫外(EUV)光刻胶测试方法》。
我国芯片产业刚刚迎来一项关键突破——首个极紫外(EUV)光刻胶测试标准正式进入立项公示阶段。 10 月 23 日,国家标准化管理委员会公示了三项光刻胶相关标准,其中最受瞩目的是《极紫外(EUV)光刻胶测试方法》。