国产碳化硅器件晶圆全自动减薄机投用

记者10月15日从中电科电子装备集团（以下简称“电科装备”）获悉，该集团下属北京中电科电子装备有限公司自主研制的首台套碳化硅（SiC）器件晶圆全自动减薄机，近期成功交付国内头部晶圆企业实现量产应用。